技術參數 型號SD-300等離子體源RF 13.56MHz射頻功率2KW適用范圍2、4、6、8寸單次處理片數多片處理(僅適用于2、4寸晶圓)外觀尺寸673*1455*1695mm(長*寬*高)腔體結構配傳送腔+工藝腔工藝溫控50-250℃均勻性≤5%(去邊10mm,5點測量,Max-Min/(2*mean))等離子體去殘膠工藝溫度≤90℃,去膠速率50nm/min-100nm/min,均勻性≤5%,膠厚測試5個區域高溫灰化去膠工藝溫度≤250℃,去膠速率3000nm/min-5000nm/min,均勻性≤5%,膠厚測試5個區域系統控制FR系統(方瑞)自動化程度手動加半自動冷水機電極冷卻FR-600A-H