技術參數 產品名稱 滾筒式真空等離子清洗機 產品型號 RD-10 控制系統 PLC+觸摸屏 等離子電源頻率 13.56Mhz 供電電源 AC220V(±10V) 等離子發生器電源功率 100W(可調) 氣體路數 2路浮子流量計 過程控制 自動與手動方式 腔體尺寸 (mm) Φ210*310mm 真空反應倉尺寸 Φ160*230mm 外形尺寸 700×640×475mm(長×寬×高) 反應倉容積 5L 電機轉速范圍 1-30轉/min 真空度 10-30Pa